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TCS合成硅粉进料

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发表于 2010-11-9 15:07:27 | 显示全部楼层 |阅读模式
哪位大侠有TCS合成进料好的硅粉进料方法,谢谢了!

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发表于 2010-11-9 21:01:18 | 显示全部楼层
回复 1# Dreamer2012
    话题不小
个人经验:平稳进料;50mm左右提到一半,80mm左右提到最大料量;后期再收一点
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发表于 2010-11-9 21:14:33 | 显示全部楼层
圆盘给料机或阀门切换开关。
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发表于 2010-11-10 14:51:02 | 显示全部楼层
气体吹送—HCl气体挟带
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 楼主| 发表于 2010-11-11 09:05:21 | 显示全部楼层
有没有具体的工艺介绍呢?
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发表于 2010-11-11 15:25:26 | 显示全部楼层
干燥罐下装一盘阀,将硅粉干燥好后点开盘阀,它会自动将硅粉投进炉子里.加料时注意炉子上下的压差,压差一般都是判断加料多少的参数.当压差合适时即可停止加料.当然,如果能连续加料就更好.
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发表于 2010-11-15 14:16:09 | 显示全部楼层
楼上,像你说的这个位置,盘阀用一段时间后就会关不到位
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发表于 2010-11-16 10:37:54 | 显示全部楼层
回复 2# lxx_bluck
    请问,50mm,80mm是硅粉罐下合成炉内的料位吗?
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