尾气回收中吸附柱的真正作用

发表于 2010-10-31 11:48:47

很多多晶硅从业者都认为尾气回收工序设置吸附系统是对从吸收塔出来的氢气的进一步净化处理，除去未被除尽的氯硅烷和氯化氢成分，其实吸附柱的真正作用并不是除去回收氢气中含有的少量氯硅烷和氯化氢，根本目的是去除回收氢气中所含有的硼、磷、铁等杂质。因为，氢气在进入还原炉之前首先是和三氯氢硅混合然后进入还原炉，在硅的沉积过程中，会产生大量的氯化氢，硅的沉积本就处在一个含有大量氯化氢的环境中，而氢中所含有的氯硅烷主要是二氯二氢硅和三氯氢硅，二氯二氢硅对多晶硅的沉积反应是有利的，三氯氢硅本为沉积多晶硅的原料。所以我认为，吸附的主要目的是除去回收氢气中所含有的硼磷杂质。我厂曾对回收氢撇过吸附直接供还原炉参与反应，结果，产出的多晶硅杂质含量超标，主要为硼、杂质磷。

发表于 2010-10-31 14:35:25

不清楚，看看别人的讨论结果吧

发表于 2010-11-1 10:15:13

记号，学习一下。坐等行家来评判。

发表于 2010-11-1 17:31:57

吸附柱吸附的是杂质，只要是杂质就要被吸附，包括氯硅烷、HCL、硼、磷、铁等。

发表于 2010-11-5 18:47:42

坐等专家

发表于 2010-11-6 10:06:20

也许有点道理吧。

发表于 2010-11-7 17:40:02

吸附柱还有那功能呢？

发表于 2011-2-1 08:52:16

吸附柱主要是除HCL、氯硅烷、硼、磷等杂质，活性碳对硼、磷等杂质的吸附是化学吸附不可逆，但是依赖活性碳除硼不太好，在一定纯度下，还会出现硼杂质升高的现象

发表于 2011-2-1 15:36:42

简单认为吸附可能能除B\P，但是要根据试验化验数据来说明……

发表于 2011-2-1 18:47:19

等待专家的分析啊!希望有具体数据的分析

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