硅棒生长后期产生蓝色的原因

发表于 2011-11-3 20:48:10

本帖最后由 gas110 于 2011-11-4 14:28 编辑
请教大家硅棒生长后期产生蓝色的原因

发表于 2011-11-3 20:50:14

请大家分析一下硅棒长成这样的原因

发表于 2011-11-4 09:06:24

工艺没有控制好严格工艺控制

发表于 2011-11-4 10:15:33

蓝色应该是氧化夹层，应该是你们在停炉的时候，温度还没降下来，通入的H2或者N2里含水造成的。你们可以在进炉前的地方取样检测H2、N2中的成分。

发表于 2011-11-4 11:06:17

1、炉筒漏水导致炉内进水，使硅棒表面氧化。
2、氮气或氢气露点不合格。
3、尾气管中的较脏的残液反吹到硅棒时与空气反映生成
以上均是我在生产中遇到并出现蓝色（彩色）硅棒的情况

发表于 2011-11-4 11:59:05

蓝膜就是氧化硅，据此分析肯定是氧气或者水进去了啊，建议详细排查

发表于 2011-11-6 12:32:10

你们的硅除了泛蓝还泛黄，还是再开一炉看看，我觉得还是该检查一下冷却水有没有漏的，特别是蒸发器或者李比希管，微漏就很有可能造成这种情况。

发表于 2011-11-6 17:03:15

还没见过蓝色的硅棒的！氧化层能呈蓝色吗？做个组份分析吧！

发表于 2011-11-6 17:28:57

应该是进水了，好好查查吧！

发表于 2011-11-7 11:00:03

氧化层，我以前见过，有时还有彩色出现。漏水还是漏气就不知道了。

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