除碳的途径

多晶硅里面的碳成分是氯硅烷中的占主要，还是氢气，或者石墨件。大家发表点意见。

以我们的生产情况进行分析（我们采用的是热氢化），氢化炉中石墨内件是产生CH4的主要场所，由于我们的氢化尾气回收与还原尾气回收没有分流回收，导致氢化尾气中的CH4与回收氢气一起进入还原炉中参与反应，导致硅棒里含碳量超标。还原炉石墨底座也会造成硅棒的C污染，不过其污染很小。

回复 2# sdkjdxlhl
  分析的很到位啊