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回收氢气杂质对还原炉内反应的影响

发表于 2011-11-14 17:11:24 | 显示全部楼层 |阅读模式

请问一下，回收氢气里面含甲烷气及二氧化碳对还原有什么影响?
是如何形成的？

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发表于 2011-11-14 18:33:29 | 显示全部楼层

应该是氢气和还原炉的石墨底座反应形成的，如果是热氢化的话，更容易在氢化炉内形成，这两种杂质含量高了话当然对硅的质量有负面影响

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