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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 氢气在三氯氢硅合成炉里的作用
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氢气在三氯氢硅合成炉里的作用

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发表于 2011-11-17 20:55:10 | 显示全部楼层 |阅读模式
氢气在三氯氢硅合成炉里的除了当催化剂的作用还有什么作用
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发表于 2011-11-17 21:10:33 | 显示全部楼层
Si+HCl→→SiHCl3+SiCl4+H2
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发表于 2011-11-17 22:14:58 | 显示全部楼层
看到过过氢有利于合成反应的文章 但不理解 似乎只是反应产生的副产物吧
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发表于 2011-11-18 15:39:10 | 显示全部楼层
Si+ 2H2 + 3SiCl4    4SiHCl3    反应前后一看很明显的
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发表于 2011-11-18 18:45:33 | 显示全部楼层
抑制副反应

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发表于 2011-11-18 19:40:40 | 显示全部楼层
应该还可以带走部分热量
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 楼主| 发表于 2011-11-18 20:41:02 | 显示全部楼层
但是大部分单位都不用氢气啊
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