如何控制回收料SiCl4含量

本帖最后由 xingxing916 于 2011-11-19 13:24 编辑
各位大大，我们还原怎么提高回收料SiCl4的含量，怎么减少二氯二氢硅的含量啊。。还有SiCl4含量高对多晶硅生产有什么好处？

各位大大，我们还原怎么提高回收料SICL4的含量，怎么减少二氯二氢硅的含量啊。。还有SICL4含量高对多晶硅生 ...
haifengailia 发表于 2011-10-26 10:13

                                
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    还原车间衡量标准是SiHCl3吧，提高SiCl的含量做什么呢？至于SiH2Cl2的含量可以通过工艺参数来控制。

怎么样才能提高TCS的转化率   才是王道    还原料里面加STC对温度要求比较高

各位大大，我们还原怎么提高回收料SICL4的含量，怎么减少二氯二氢硅的含量啊。。还有SICL4含量高对多晶硅生 ...
haifengailia 发表于 2011-10-26 10:13

                                
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    楼主所说是还原反应条件的控制问题，也就是还原的反应条件控制与否决定还原尾气中的四氯化硅与二氯二氢硅的含量比例，也就是副产物所占比例的问题；至于二氯二氢硅与四氯化硅在多晶系统中的影响是要根据各厂的系统设置有关，如贵厂氢化处理能力强多点四氯化硅也无妨，若附设有
歧化装置就更不存在问题了。