请你来谈谈还原炉油冷却与水冷却的优缺点

发表于 2011-11-15 10:24:04

现在大多流行用睡冷却还原炉炉筒，也有部分用导热油冷却，请你来谈谈还原炉油冷却与水冷却的优缺点

发表于 2011-11-17 23:12:59

水冷却可以产生底压二次蒸汽可以进行热量回收利用导热油在密闭无尘空间泄露不好处理的而且多晶硅生产比较怕油

发表于 2011-11-20 11:17:30

还是导热油好的。起炉时对还原炉好加温。

发表于 2011-11-20 12:04:00

水和油都怕，个人觉得在使用上、成本上、维护上，水比较好点，无毒，易得，泄露危害相对小……

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