多晶硅工艺管道的材质选择

发表于 2010-8-4 15:09:28

在多晶硅生产中，其工艺管道主要采用不锈钢管道，考虑到晶间腐蚀的原因，具体用304还是316的好？
在多晶硅生产中，可能对不锈钢产生晶间腐蚀的物质是什么？
考虑到选材的重要性及经济性的要求，欢迎大家开展广泛的讨论！
比如在还原炉尾气管道的用材和低温氯硅烷管道的用材又有一定的区别
欢迎大家各抒己见！

发表于 2011-11-8 19:00:48

在多晶硅生产中，其工艺管道主要采用不锈钢管道，考虑到晶间腐蚀的原因，具体用304还是316的好？
在多晶硅 ...
winer.LIU 发表于 2010-8-4 15:09

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工艺管道，大多是采用碳钢材质的。就高纯水，氢气和个别物料线会采用不锈钢的。

发表于 2010-8-4 15:09:00

我觉得还是要根据但原来选择管道材料，最好多到几个多晶硅工厂参观一下。

发表于 2011-11-8 22:29:16

主物料一般是316的氢气的是304的

发表于 2011-11-17 15:14:52

主物料一般是316的氢气的是304的

发表于 2011-11-17 15:15:03

如果是6N的304应该够了

发表于 2011-11-19 18:36:13

国内用不锈钢的比较多但是国外的基本上都是碳钢除了还原车间用不锈钢其它的工艺管道就可以用碳钢 Hemlock的安装就是碳钢的

发表于 2011-11-19 18:53:18

关键控制好外如的杂质，控制好了，用碳钢也没问题的。国内技术现在不够，用不锈钢的多。

发表于 2011-11-19 20:05:02

材料的晶间腐蚀是热影响去腐蚀的一部分，不锈钢的敏化23粘度在450-850℃之间，机理就是“贫铬理论”，不锈钢的含铬必须超过12%，其耐腐蚀性能才能超过普通碳钢，从而我们根据不锈钢的成分来看，304的Cr含量在17.00-19.00%，因此在还原炉尾气采用304不锈钢就可以了，其余的可以采用碳钢，考虑到碳钢会生锈，清洗麻烦，污染系统，一般也氯硅烷系统也采用不锈钢（主要为304）。

发表于 2011-11-22 08:16:34

主物料一般是碳钢的，但还原工艺管道和高纯三氯氢硅的管道是316不锈钢的氢气的是304的

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