还原炉停炉以后，硅棒外表面的粉末是何种物质

发表于 2011-11-21 10:01:11

当还原炉正常停炉时，炉台有一层黑色的粉末，光滑细腻，是何种物质？
当还原炉接地调停时，硅棒的粉末是褐色的，这个又是何种物质？

发表于 2011-11-21 10:04:18

你们的汽化器应该清理清理了估计是重组分吧

发表于 2011-11-21 10:07:14

是不是气动阀卡住了

发表于 2011-11-21 16:48:37

回复 3# 程大化工
气动阀卡住和黑色、褐色粉末的形成有什么关系？

发表于 2011-11-23 10:00:02

黑色的我们这里出现过一次
应该是非晶体硅貌似是属于一种硅的同素异构体
褐色的可能是尾气反串回炉内造成的
论坛内以前见到过这样的帖子
还附带图片的
最好是做物料分析确定下物质的性质在考虑形成原因

发表于 2011-11-23 10:23:43

本帖最后由 lwdyc 于 2011-11-23 10:24 编辑
无定形硅。无定形硅比较细小，成粉尘状，一般而言，无定形硅是三氯氢硅在反应温度比较低的时候生成的，其对应的生产节点是沉积速度快，生产功率比较低。

发表于 2011-11-23 12:38:12

我觉得黑色更像是碳化物燃烧后的产物，褐色的可能是不定型硅。

发表于 2011-11-23 13:19:45

应该是无定形硅吧，还原炉内很干净的

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