大化工论坛

 找回密码
 立即注册

QQ登录

只需一步,快速开始

微信登录,快人一步

手机号码,快捷登录

手机号码,快捷登录

开启左侧

生长出来的多晶硅表面菜花状怎么解决

[复制链接]
发表于 2011-11-19 12:28:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅表面菜花是怎么形成的,什么原因,生长一炉多晶硅的周期一般都是多少,我厂有一期10天的,二期6天,生长过快对产品质量的都有 那些影响?
回复

使用道具 举报

发表于 2011-11-19 12:47:32 | 显示全部楼层
要是给我六天一炉,全是检验料。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2011-11-21 10:12:16 | 显示全部楼层
这个跟炉内气场的分布有关吧   有待研究
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2011-11-21 10:21:51 | 显示全部楼层
工艺设定不一样吧
你还原炉是多少对棒的
我们以前也是10几天出一炉
现在也就是6,7天地样子
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2011-11-22 21:52:12 | 显示全部楼层
主要跟气体流速、流量、流向有关,流量大生产周期短,容易形成菜花,硅棒质地脆。合适的流量,生长出来的硅棒质地均匀、密实,断面很有光泽。
回复 支持 反对

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册 |

本版积分规则

QQ|Archiver|手机版|小黑屋|大化工论坛 ( 鲁ICP备12015736号-12 )

GMT+8, 2025-1-23 10:22 , Processed in 0.054265 second(s), 40 queries .

Powered by Discuz! X3.4

© 2001-2023 Discuz! Team.

快速回复 返回顶部 返回列表