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多晶硅电阻率怎么测?

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发表于 2011-11-26 10:41:06 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教一下各位同仁多晶硅电阻率怎么测?
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发表于 2011-11-26 16:53:22 | 显示全部楼层
单晶的话是有标准的,GBT151-2009,有专门的硅材料电阻率测定仪器。
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