还原炉电极陶瓷材料

各位坛友：
还原炉为了防止硅棒与炉体导通，肯定需要绝缘材料将其隔离。一般情况下，都是使用陶瓷材料。是使用氧化铝好呢，还是氧化硅比较好，或者别的？有什么特殊要求吗？大家不妨讨论一下，应该不涉及什么机密吧？

只要绝缘等级、纯度能够达到，同时在高温时，不会引入新的杂质，都行。
只是在设计方面大有讲究。否则起不到绝缘效果，损耗也会很高

这个要考虑绝缘和不引入新杂质哟

这个考虑到高温、寿命长，绝缘、不会带入新的杂质就ok了

考虑高纯不会带入新的杂质、耐高温骤冷不裂、寿命长，绝缘好

高密度氧化铝，石英磁环，氮化硅磁环被证明都是是可行的，在使用过程中不同的公司会有不同的喜好，这个就是仁者见仁智者见智的事情了。
早期的电极绝缘结构全部采用氧化铝结构，随着GT进入中国某些公司出现过石英材质，再后来，在一系列针对还原炉结构的改进上面，一些拍着脑袋的人们发现能改动的地方实在是太少了，开始研究起来用氮化硅取代氧化铝磁环，使用效果比氧化铝陶瓷环却是有改进，于是氮化硅陶瓷环开始走入多晶硅生产的视线。
总的来说各种绝缘结构各有利弊吧，氧化铝价格低使用寿命短易裂，石英性脆高纯度的价格高使用寿命中等，氮化硅价格给力使用寿命给力清洗袭来给力反正什么都有点给力。
比到现在其实还要看的就是在各家还原工艺控制过程中，还原炉内的情况，12对的18对的24对的27对的36对的40对的控制情况，温度高了不行，温度低了不行，进料大了不行，进料小了不行，就是这么反反复复遮遮腾腾中慢慢的找到一个折中的点，备品备件相对于产量来说最经济的状态，这个要搞过生产的才心里有数了。
以上的话纯属拍脑袋乱掰，本人没搞过多晶硅生产，看过全当没看，不要往心里去。

回复 6# submrine
    氮化硅是绝缘体吗，我记得资料介绍过，金属的氮化物导电性非常好？

我们公司使用的是石英环，用起来感觉各项性能还不错，唯一缺陷就是在使用后上面会附着硅（这个应该所有材料都会有吧？），在清洗过程中如果使用HF等浸泡后表面容易产生裂纹，影响再次使用。