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硅烷、氢气净化

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发表于 2010-8-21 12:03:57 | 显示全部楼层 |阅读模式
正在做多晶硅项目,想问问各位老师你们的硅烷、氢气都用什么方法在净化呢,工艺包用4A、5A分子筛吸附再生,都一样吗?还有什么方法能大概的介绍一下吗?
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发表于 2011-11-22 08:48:18 | 显示全部楼层
在这个生产过程中还有就是精馏
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发表于 2011-11-22 08:59:39 | 显示全部楼层
还有就是吸附纯化等
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发表于 2011-11-22 16:36:25 | 显示全部楼层
硅烷纯化用精馏,H2纯化用碳吸附塔和解吸
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发表于 2011-11-22 21:47:14 | 显示全部楼层
借此机会请教一下 多晶硅项目中,那些工段需要用到捕集器(除雾器)??
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发表于 2011-12-6 11:05:03 | 显示全部楼层
学习中,啥都不懂啊a
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发表于 2011-12-6 14:06:51 | 显示全部楼层
正在做多晶硅项目,想问问各位老师你们的硅烷、氢气都用什么方法在净化呢,工艺包用4A、5A分子筛吸附再生, ...
wangyexiang022@ 发表于 2010-8-21 12:03

                                
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现在通用的硅烷净化用的是多塔精馏的方法,这是目前的主流净化硅烷的方法。
而氢气的净化是在CDI工序中,用活性炭吸附柱进行净化。
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发表于 2010-8-21 12:03:00 | 显示全部楼层
回复 5# hopef
    电解水制氢
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发表于 2011-12-6 17:22:21 | 显示全部楼层
谢谢8楼的坛友!电解水制氢后的氢气水雾除雾器是吧;三氯氢硅上我们的除雾器已经有很多应用了,如洛阳中硅、三孚硅业、三阳化工、新龙硅业、达康硅业、泰安阳光硅业....希望能够多交流
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