硅芯表面的坑

发表于 2011-10-12 08:20:40

硅芯在启炉后，表面往往会出现像蜂窝一样很多黑色小坑，请问大家是如何形成的
怎么避免啊，如何腐蚀掉

发表于 2011-12-9 11:48:49

本帖最后由 xingxing916 于 2011-12-9 12:44 编辑
黑色小坑都是氧化物，进行表面腐蚀就可以清除了

发表于 2011-12-9 12:29:08

可能是硅芯表面电阻率不均匀造成的。发生逆腐蚀反应（stc合成反应）时也会出现这种情况

发表于 2011-12-13 14:06:57

你开始是不是表面有膜生成啦？

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