讨论一下还原炉内热场分布及其对雾化的影响

还原炉运行到30—50小时容易雾化，表现为尾气温度升高  炉内浑浊，炉筒水温下降，电压异常下降，这跟炉内的热场分布有很大关联，想和各位讨论一下还原炉的热场分布！

主要和你电极分布有关，现在国内主流的是18对电极的，中国期刊网上有几篇文章，分析沉积过程的其热力学和动力学过程，你找找看

还原炉控制的时候很多参数需要协调。进料量，进料温度，硅棒内圈温度，外圈温度，配比，一般雾化与温度高低有一定的关系，但是关系不大，雾化一般为尾气温度过高引起，所以，在你所描述的过程中应该适当增加氢气的量，我不知道你是多少对棒的炉子，所以观点可能有错误。

回复 3# ourlive
    那你认为是雾化导致尾气升温还是因为尾气升温导致雾化   还是其他原因呐

回复 4# 332884531
    雾化导致尾气温度升高是必然的，同时还原炉一旦雾化以后，尾气温度就很难下降，即使调整配比也很难，有点像惯性的特征。
还原炉如果要控制好的话需要在雾化的前期就做出相应的调整。、

回复 5# ourlive
    所以才会有此帖子   为什么会降不下来   而且跳过配比以后   炉内清晰后一段时间内又会雾    为什么会雾呢

回复 6# 332884531
    尾气温度一旦高于550摄氏度以后，三氯氢硅就会自分解，同时放热，形成的硅粉也在吸收硅棒辐射的热量，导致炉内的温度恶性升高。
调整配比以后，尾气温度并不会下降的原因就是一旦超过一定的温度自分解就持续进行，一直放热，这时候调整配比跟调整电流应该同步进行，否则温度下降不来。

回复 7# ourlive
    我觉得    产生硅粉以后附着在炉筒内壁上   降硅棒辐射出来的热量反射回去  使炉筒水无法带走更多热量   这也是为何炉筒水温在雾化后为什么下降的原因   如果按你说的  硅粉吸收了热量   那炉筒水应该温度升高       而且12对棒的普通炉子可不敢让尾气到550度   那个时候炉内一定没法看了   视孔镜估计也得黑完

本帖最后由 ourlive 于 2011-7-28 20:47 编辑
回复 8# 332884531
    炉筒壁能结硅反射？最多是无定形贵，应该吸热，雾化时候炉筒的冷却水量也增大的。辐射回去的话水量不是应该减小？
硅粉是随着尾气去CDI的。使得尾气温度升高。

炉壁上肯定沉积了相当多的硅粉   阻碍了炉筒水带走炉子的热量    你说是炉筒水带的热量多还是为其带走的多