硅棒生长后期产生黄色的原因

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这个现象以前在我们这也有过，其实在早期看到的并不是这种黄色，还有并不是硅棒变黄了而是硅棒表面附着的一层黄色水解物，初期在没断电的时候看上去更像是黑色的絮状，应该是还是管道有泄漏点，或是电极水管漏水或视孔水管渗水，看来你们那现场人员巡检还是不到位啊，如果及时发现不至于会出现整个硅棒都背附着。

回复 1# gas110
    在停炉时温度降低过快造成，硅油吸附而产生的这种颜色。

估计是有点泄露造成的吧

我们也遇见过，主要有两个原因：1、石墨与电极接触不好，在高电流时铜电极熔化，液态的铜与氯硅烷反应生成黄色的硅铜化合物附着在硅棒表面（可通过查电流曲线或电极情况来确认）；2、钟罩或视镜等漏水。

回复 14# 505
  够专业，赞一个！
如果是无定形硅的话，是什么颜色呢，有的说是深灰色

首先,可以告诉大家,这个肯定不是铁引起的, 只要解决了黄棒,黄硅芯这种问题的生产厂家都清楚.
不信,你可以用氢氟酸+硝酸,清洗表明,然后测组分,
那么,黄色的到底是什么呢?
答案就是低温时产生的聚合硅.
当温度低于800度的时候,仍然有三氯氢硅在进入还原炉,就会产生,
所以,解决问题的方法就是,控制后期操作参数,降温必须先降三氯氢硅,
检查三氯氢硅管道阀门有没有内漏的,或有没有死角,导致停炉过程中,三氯氢硅仍然在进入还原炉.

这种情况肯定是停炉过程中造成的，TCS在低温下发生热分解，一般是硅棒温度降得太快，炉内还残留了大量高浓度的氯硅烷气体，所以控制停炉停炉方法很重要。

貌似是有水渗透引起的，曾经见过渗水现象停炉后颜色是褐色，没那么黄，只有在现场仔细检查才能找到原因

貌似是有水渗透引起的，曾经见过渗水现象停炉后颜色是褐色，没那么黄，只有在现场仔细检查才能找到原因
ohshiliuxing 发表于 2012-1-4 12:22

                                
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是的，遇到这种情况，第一个要检查的就是漏水问题。

我认为有2中可能：
1、系统中有Fe等金属杂质。
2、系统中的水分含量高