采用硅烷法生产的，现在硅烷法多晶硅生产技术状况怎样？

发表于 2009-6-25 15:25:03

本帖最后由 jindin312 于 2011-2-24 20:51 编辑
目前国内新建多晶硅项目多采用改良西门子法生产，请教各位大侠，目前国内多晶硅项目有没有采用硅烷法生产的，现在硅烷法多晶硅生产技术状况怎样？

发表于 2011-2-22 09:20:51

回复 1# zkqzhr
六九和南玻都有用到硅烷法，六九在硅烷法有所提升，叫新硅烷法。

发表于 2011-2-24 08:59:40

六九的硅烷法是美国一家叫什么吗virasa的工艺包。这家我非常了解工艺。

发表于 2011-3-8 12:51:19

我做的就是硅烷法生产多晶硅我们的硅棒能长到150以上

发表于 2011-3-8 13:06:27

我做的就是硅烷法生产多晶硅我们的硅棒能长到150以上
wzfrank 发表于 2011-3-8 12:51

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请问你哪里的？

发表于 2011-3-8 12:51:00

回复 2# ruixiaandyeer
南玻用的不是硅烷法。

发表于 2011-3-28 14:54:15

国内好像就两家：衢州中宁硅业和河北六九硅业是硅烷法技术！

发表于 2011-3-28 17:22:51

wzfrank 发表于 2011-3-8 12:51

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我做的就是硅烷法生产多晶硅我们的硅棒能长到150以上
请问你是哪里的？很想和您交流一下可以吗？

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