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请高手讨论一下三氯氢硅在H2还原后的硼磷变化

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发表于 2011-12-10 10:18:22 | 显示全部楼层
P可以在干法回收那边处理   温度低的时候可以聚集除掉
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发表于 2011-12-10 10:46:10 | 显示全部楼层
回复 11# mian726
    可否具体探讨下干法回收除P 的心得吗?
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发表于 2011-12-10 14:32:49 | 显示全部楼层
回复 12# 虔诚的信徒
    具体的我也不知道   好多资料上面都是这样讲的
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发表于 2011-12-10 14:37:35 | 显示全部楼层
B和P在每个车间都有一定的变化
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 楼主| 发表于 2011-12-10 14:38:04 | 显示全部楼层
回复 10# 虔诚的信徒
    能否提供B P沉积速率的相关资料文献参考一下 我还是比较认可BP和三氯氢硅沉积速率差异引起杂质浓度的变化 是回收料中B P差异的原因 。如果单纯的说B的沉积速率高于P 那为什么我公司的产品中P总是比B高 呈N型 (我是搞质量的 说错了别喷)只有单纯进新料的时候B P分析结果相近 望指教!!!!!!!
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