还原反应后四氯化硅的含量达到36%，是什么原因

发表于 2011-11-17 16:00:27

请教高手解答，尾气中的四氯化硅的含量到底是多少，有没有标准。

发表于 2011-11-17 17:02:14

因为就应该是这样

发表于 2011-11-17 17:04:06

本帖最后由 xingxing916 于 2011-11-17 17:06 编辑
一般就这个数值差不多吧，这个和采用的还原炉工艺有很大关系的

发表于 2011-11-17 17:04:17

与进料量关系很大，进料量越大四氯化硅比例会相应降低

发表于 2011-11-17 17:09:28

这个应该很正常啊，三氯氢硅高温10000度左右分解产物啊

发表于 2011-11-24 23:44:34

回复 1# 清冷紫玉
完全正常，我们厂尾气不管二十个炉子的总管还是单个炉子的尾气，四氯化硅在质量百分百为百分之四十强。

发表于 2011-11-26 14:12:53

还原尾气中STC的含量一般在40%左右，还要看你的进料量的大小。

发表于 2011-11-26 14:47:50

这个值基本上很正常，表征的副反应程度，与炉温、进料配比、运行时间等都会影响这个数值

发表于 2011-11-26 16:51:19

在还原过程中，DCS和H2，SiHCl3综合作用的结果。

发表于 2011-11-27 22:22:32

有时候还达到45%以上哦，长得很快

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