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请问:还原炉在运行过程中,硅棒生长初期就突然倒炉为何?

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发表于 2012-3-7 15:46:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问:还原炉在运行过程中,硅棒生长初期就突然倒炉为何?没有任何不正常的现象
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发表于 2012-3-9 09:59:30 | 显示全部楼层
第一。温度与料量不匹配,料过多导致炉内温度变低出现倒炉现象
第二。炉内温度过高,导致硅芯熔化出现倒炉。
第三。物料配比过大,氢气量大将料吹到顶部使得棒上部大下部小,头重脚轻,出现倒炉
第四。好像没有什么原因了吧
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发表于 2012-3-9 23:19:21 | 显示全部楼层
初期有多初 时间具体点嘛。流量和电流的匹配该摆出来的就摆出来,什么都不说让别人猜啊。。。
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发表于 2012-3-14 13:14:03 | 显示全部楼层
温度与料量控制的不好。在前期尽量把温度控制高点,
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 楼主| 发表于 2012-3-14 16:23:14 | 显示全部楼层
主要还是配比和气化温度的问题
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发表于 2012-3-15 14:58:19 | 显示全部楼层
你要说下你们的大概工艺,工艺不同原因不近相同的。但如果是刚击穿的硅芯,你物料比例、物料量与温度不匹配的话会出现倒棒(参照2楼第一第二条)。
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