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CVD还原炉对高纯SiHCL3产品的要求

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发表于 2012-3-20 12:04:51 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问各位大虾:CVD还原炉对原料高纯SiHCL3产品的要求是什么?尤其是DCS的含量有控制吗?DCS在CVD还原炉中参与反应是什么?产生什么产物?
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