怎样测量硅棒直径

发表于 2011-2-28 09:51:53

目测，找到石墨件的参照物

发表于 2011-2-28 10:03:56

回复 2# 巴赫
麻烦请再具体一点，我们这的炉子试镜很小看不到里面的石墨件。您的意思是通过参照物对比么？

发表于 2011-2-28 10:27:05

目测，这个要靠经验，可以参考径向速率和沉积时间的计算值。

发表于 2011-2-28 21:11:14

回复 4# ploikj
有没有一个误差比较小的计算公式呢？？？

发表于 2011-3-1 09:19:40

回复 3# 123419628
当然了啊，不然光靠猜能准吗。量一下固定不变的可见物长度作为参照物

发表于 2011-3-8 05:00:01

目测，多练习-。找参照物对照。

发表于 2011-3-8 08:27:17

你可以通过视镜和里面硅棒在镜片上做个区域（开炉的时候），初中就学过的根据角度测量高度或直径的

发表于 2011-3-8 08:28:28

我们拉硅芯就是这样目测的，误差都在0.5mm

发表于 2011-3-8 19:47:41

视孔小可以看到硅棒就行根据石墨参照物和时间就可以大体知道棒径了

发表于 2011-3-8 21:50:48

我们是安装相机在线测量硅棒的宽度哦

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