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三氯氢硅组分是什么?

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发表于 2012-7-8 08:16:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教各位,用氯化氢合成三氯氢硅的工艺中,产品三氯氢硅的组分是什么?像那些杂质一般有多少?尤其是硼、磷、碳
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发表于 2012-7-8 20:37:09 | 显示全部楼层


这问的好生郁闷撒。。。。那得看你原料的杂质撒
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 楼主| 发表于 2012-7-9 08:22:13 | 显示全部楼层
我只是问一个大概啊,一般按照421的硅块去生产三氯氢硅其成分大概是多少
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发表于 2012-7-9 08:27:57 | 显示全部楼层
一般硼磷杂质含量很高的
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 楼主| 发表于 2012-7-10 08:15:39 | 显示全部楼层

xingxing916 发表于 2012-7-9 08:27

                                
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一般硼磷杂质含量很高的

谢谢啊,那大概有个具体数据吗?硼磷大概多少?能用于多晶硅吗
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发表于 2012-7-9 08:27:00 | 显示全部楼层
经过精馏几次就可以降下来的,当然可以用于多晶硅
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发表于 2012-7-10 08:22:49 | 显示全部楼层

gysmlhd 发表于 2012-7-10 08:15

                                
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谢谢啊,那大概有个具体数据吗?硼磷大概多少?能用于多晶硅吗

液相里面主要是TCS和STC,DCS微量,三者之比大致为91%:8.7%:0.3%(摩尔比),洗涤不好的话会含有一定的HCL液体,但量非常少。主要杂质是:B、P、Al、Fe、Ca、Mg等杂质。由于未经精馏的液体杂质含量非常大,因此一般不做测量。过程控制中测量的都是精馏塔的塔顶和塔釜的杂质含量,目前情况下,P的检测都不准,仅能作为参考。
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 楼主| 发表于 2012-7-10 18:50:24 | 显示全部楼层

西部流沙 发表于 2012-7-10 18:50

                                
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液相里面主要是TCS和STC,DCS微量,三者之比大致为91%:8.7%:0.3%(摩尔比),洗涤不好的话会含有一定的 ...

谢谢,一般三氯氢硅去做多晶硅的话,多晶硅会有精馏装置的吧
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发表于 2012-7-10 08:15:00 | 显示全部楼层

gysmlhd 发表于 2012-7-11 08:24

                                
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谢谢,一般三氯氢硅去做多晶硅的话,多晶硅会有精馏装置的吧

精馏肯定是有的,不仅仅是合成TCS,氢化、还原生成的TCS都有精馏,就是精馏的塔段不同而已。
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