还原炉运行

还原炉怎样开才省电？为什么说雾化会省电？雾化后沉积速率会下降多少？      沉积速率哪些因素有关？    请大家不吝赐教

没听说过雾化能省电的，只听说过雾化容易产生不定型硅，我们原来生产的时候，有雾化情况是要当做事故炉直接停下来的。
沉积速率与温度有关系，沉积速率随温度的升高而增加，但是超过一个临界点后，反而随温度的升高而下降。
沉积速率与配比也有关系，氢气量越大，物料分子间碰撞几率越大，沉积速率越高，但氢气量过大的话，又会降低TCS的比例，反而降低沉积速率。
所以，这个东西是辩证的，你得从这两方面去试验，找到最佳的配比与温度的配合关系。
而且实际生产也不是固定不变的，市场好的时候，供不应求，那么可以适当忽视点产品外观，沉积速率提高点；市场不好了，就长慢点，外观长好点，以外观质量取胜----不过，这多晶硅市场特么什么时候才好得起来哦！