四氯化硅等离子体法氢化法

本帖最后由 xingxing916 于 2011-11-17 17:02 编辑
有谁了解四氯化硅等离子体法氢化法，谈谈？

目前这个还处于研究阶段

是的，目前还是主要以冷氢化为主，等离子体氢化还没有

貌似最近等离子法比较热门！！！！！！！！！！！！

不太好，电耗高，同时很难避免硅粉产生。国外80年代起就开始研究了，2008年多晶硅红火，国内没有引进掌握氯氢化和热氢化时有所研究。可以参阅四川大学印永祥的学生发的论文，全部都看一遍，就知道情况了。