四氯化硅冷氢化中二氯二氢硅的含量

发表于 2012-9-27 23:22:57

多晶硅生产工艺流程中副产物二氯二氢硅的含量是多少？尤其是四氯化硅氢化反应那块？我记得有文献提到是2%左右？不知道对不对，请各位大侠赐教

发表于 2012-9-28 08:30:30

么有，远低。
根据工艺控制有一定波动，但都比上面那个值低几倍

发表于 2012-9-29 07:56:38

呵呵呵。没有必要再这个问题上纠缠，根据工艺控制会有变化

发表于 2012-9-29 10:56:36

有开过冷氢化的朋友出来发表下最好，一定重奖

发表于 2012-10-6 17:42:58

二楼说的没错，一般的情况都在百分之零点几。

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