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关于不定型硅

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发表于 2012-9-5 02:17:54 | 显示全部楼层 |阅读模式
大家好,向大家请教个问题,不定型硅产生的原因是温度低,温度低于多少回产生?   三氯氢硅在900~1050℃会发生分解反应,这个反应生成的是不定型硅吗?   
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发表于 2012-9-5 15:44:02 | 显示全部楼层
低于900℃会发生什么反应导致其生成多晶硅?
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 楼主| 发表于 2012-9-8 13:06:00 | 显示全部楼层
无定性硅的产生,大概在400度左右,但是在整个系统中即便你能控制在1000度,设备局部或换热界面同样可能存在多种温度区间,适合各种付反应的产生条件。
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发表于 2012-9-9 09:00:59 | 显示全部楼层
反应是很复杂的,不会向你想象的方向去进行。
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