氯化氢中含氯含水对三氯氢硅合成的影响

发表于 2011-8-23 18:04:44

请教各位大侠，氯化氢中含氯含水对三氯氢硅合成的分别有什么影响？

发表于 2011-8-23 20:20:26

HCL中含水量高会影响到TCS纯度，这个必需要严格控制的。如含水量过高还会影响到合成炉的反应，导致合成炉踏床烧坏喷板。

发表于 2011-8-23 22:15:58

氯化氢含水量高，TCS含量上不来，严重的会腐蚀风帽，硅粉掉到下封头，反应热无法正常移出，最终会导致整个床层分布板等烧坏。不可大意！

发表于 2011-8-23 22:26:36

生成硅胶堵塞管道设备，腐蚀设备管道

发表于 2011-8-25 19:17:38

回复 2# 大海深处
为什么会影响纯度呢？

发表于 2011-8-26 14:23:20

氯化氢中含水份对合成反应极为有害，因为Si-O键比Si-Cl键稳定，反应产物极易发生水解，使SiHCl的产率降低，水解生成的硅胶堵塞管道，使操作困难，对设备的维护也不利，水解产生的盐酸对设备有强烈的腐蚀作用，游离水份还能在硅表面形成膜，影响反应进行。游离氯的存在，对硅中某些杂质的氯化有利.

发表于 2011-8-27 16:47:10

在三氯氢硅生产中HCL含水和含游离氯是最让人头疼的事！
首先，HCL含水量在合成车间是要小于50PPM，如果含水过多，就会和炉内的硅烷气体发生水解反应，让炉内的流化效果不好，形成类似沟流，还有就是管道容易堵赛和过滤器板结等，而且转化率不高！
然后，HCL含游离氯，就是我们生产中常说的HCL合成炉过氯，我们首先不要去问HCL含氯较高有什么影响，更重要的是去处理问题的源头，那就是要在HCL合成炉上找原因，HCL含氯肯定是DCS操作员没操作好，还有就是氢气纯度较低，氢气纯度低了你把流量提得再高也没用，高了还会熄炉。
最后，我说一下HCL含氯过多对三氯氢硅合成炉影响那是很致命的，因为氯原子还是比较活泼的，高温下很容易跟铁反应，从而就会让气体分布器烧结，炉内的换热管变薄，强调一下：换热管泄露也有硅粉摩擦的原因和氯化氢腐蚀等情况！
这是根据我搞这个多年的总结的一些小知识，希望对你有用！！

发表于 2011-8-28 12:43:27

回复 7# xuesheng1987
谢谢您，分析的很全面。留个联系方式吧，大侠

发表于 2011-8-30 11:15:54

7L 回答非常专业～～学习了

发表于 2012-10-21 23:58:08

xuesheng1987 发表于 2011-8-27 16:47

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在三氯氢硅生产中HCL含水和含游离氯是最让人头疼的事！
首先，HCL含水量在合成车间是要小于50PPM，如果含水 ...
分析得很好，学习了！如果可以，能否联系QQ:2440555727. 继续向您请教！

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