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氯硅烷的流速

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发表于 2012-10-19 15:05:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅生产中氯硅烷的流速一般是多少啊,取高或底有什么影响吗???
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发表于 2012-10-19 16:17:21 | 显示全部楼层
这个范围可以很大...跟压力和氢气配比都有关系,一般按10%的转化率估算就行了
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 楼主| 发表于 2012-10-19 16:29:15 | 显示全部楼层

Minos 发表于 2012-10-19 16:17

                                
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这个范围可以很大...跟压力和氢气配比都有关系,一般按10%的转化率估算就行了

我有流量要算管径,需要取个经济流速初步估个管径
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发表于 2012-10-19 16:17:00 | 显示全部楼层

sanzizi 发表于 2012-10-19 16:29

                                
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我有流量要算管径,需要取个经济流速初步估个管径

你连多大的炉子,一条线多少台都没说,那怎么说流速啊
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 楼主| 发表于 2012-10-20 20:34:35 | 显示全部楼层

Minos 发表于 2012-10-20 20:34

                                
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你连多大的炉子,一条线多少台都没说,那怎么说流速啊

这应该是流体的性质啊,跟大小应该没什么关系吧
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发表于 2012-10-19 16:29:00 | 显示全部楼层

sanzizi 发表于 2012-10-22 11:26

                                
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这应该是流体的性质啊,跟大小应该没什么关系吧

你不是要流速吗?流速当然取决于工艺参数了...怎么会没关系
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