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流化床法制备多晶硅

发表于 2012-10-26 14:47:50 | 显示全部楼层 |阅读模式

现在大家都在致力于流化床工艺的研发，大家可以互相交流下，比如进行到什么程度了，遇到了哪些困难？如何解决的等等

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发表于 2012-10-26 16:30:14 | 显示全部楼层

问题就是壁面沉积，没有办法破碎中间形成的大气泡，形成硅粉，等方面吧

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