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硅棒偏生长,亮环,螺纹状生长的原因

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发表于 2010-1-13 14:28:10 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教各位大虾为什么硅芯安装好后,在刚刚开始反应的几个小时内,硅棒会出现偏生长,在生长过程中,又有亮环的出现,硅棒的螺纹状生长又是什么原因所导致的?谢谢大家,还请不吝赐教
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发表于 2010-1-13 15:15:45 | 显示全部楼层
偏生长看进气口是不是有异常,亮环可能是温度控制不好,螺纹生长没见过
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发表于 2010-2-11 20:34:29 | 显示全部楼层
我觉得硅棒长偏可能是因为硅芯安装垂直度不够,或者是硅芯的翘曲度太大。
亮环可能是硅棒断裂的,导致此处温度偏高形成的亮环,螺纹生长可能和亮环与进料量有关。
具体还要看你出炉后硅棒的实际情况来定言。
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发表于 2012-12-5 23:51:28 | 显示全部楼层
亮环是因为为温度高了,马上降温,待亮环消失后缓慢升温恢复正常。开始时是亮点后面是亮环,是由于硅芯与石墨夹头结合度不够好,中间有空隙导致局部电阻过大,导致温度高出现亮环!
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发表于 2012-12-5 23:58:16 | 显示全部楼层
偏生长是因为温度低了需要缓慢升温,幅度要缓慢,防止拉弧,勤于观察!多总结经验。
至于螺纹就简单了,温度高了,降点温度就可以了,前期是毛刺到后面发展成螺纹的,不过没关系,因为硅芯本身就有点纹状,到后期自动修复了。
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