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还原炉倒炉问题

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发表于 2013-1-18 10:45:17 | 显示全部楼层 |阅读模式
我是做硅烷法的,现在总是启炉后易倒炉,这是什么原因?
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发表于 2013-1-18 13:22:59 | 显示全部楼层
可能存在的几点:
1进料管。
2硅芯垂直度。
3底盘的水平有无变形。
4硅芯安装是否正确,有无应力缺陷。
5电流的控制。
个人观点。
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 楼主| 发表于 2013-1-18 14:16:11 | 显示全部楼层
谢谢!还有其他原因吗?
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发表于 2013-1-20 17:21:04 | 显示全部楼层
进气量和电器设备也有一部分关系
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发表于 2013-1-22 05:25:06 | 显示全部楼层
能提供多一点信息吗?倒炉的原因有很多,如果不是电气等炉外因数倒炉的,能有图和倒炉的时间,我想我可以帮你分析出大多数原因。
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