多晶硅的工艺流程？以及原料是什么？

发表于 2011-11-24 16:25:41

本帖最后由 xingxing916 于 2011-11-24 16:56 编辑
请坛友们介绍下多晶硅的工艺流程？以及原料是什么？谢谢

发表于 2011-11-24 17:14:44

整个工艺很复杂，简单的给你说下把。主要是利用HCL和硅粉在合成炉内反应生三氯氢硅，经过精馏提纯后的三氯氢硅进入还原炉与过量的氢气反应生成单质硅和四氯化硅。单质硅在硅芯上逐渐富集成硅棒。四氯化硅通过氢化炉与氢气反应生成三氯氢硅和氯化氢。还原炉和氢化炉产生的尾气通过回收车间利用干法回收分离出氢气。氯化氢，三氯氢硅，四氯化硅等重复利用。基本就是这样了。

发表于 2011-11-25 10:07:06

回复 2# xiangzi152634
谢谢了，但是你也没说最好多晶硅怎么得到的哈

发表于 2011-11-25 10:35:59

回复 3# liujibin
还原炉中得到的硅棒就是多晶硅了。

发表于 2011-11-25 14:25:39

恩，就是这样的滴，一般采用西门子法。

发表于 2011-11-25 16:38:39

还原多晶硅生产：三氯氢硅液体液化后和氢气，经过静态混合器，混合均匀后，进入还原炉发生分解反应得到，多晶硅，反应温度在1025度，压力4公斤左右。谢谢。

发表于 2011-11-27 17:41:13

化学气相淀积，还原出来的硅附着在硅芯上慢慢生长。。
感觉像是和做冰糖一样。。

发表于 2013-2-4 13:27:54

化学气相淀积，还原出来的硅附着在硅芯上慢慢生长。。
感觉像是和做冰糖一样。。

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