尾气中四氯化硅含量问题

看文献说，当还原炉温度低时，以SiHCl3分解反应为主，这时尾气中四氯化硅含量应高些，温度高时，以还原反应为主，这时尾气中四氯化硅含量应少些，但是实际情况是温度控制的高四氯化硅含量却高，疑惑，大家讨论一下，还原炉中到底哪个反应是主反应？

现在还原工段应该改名叫分解工段。

燃烧的胸毛 发表于 2013-2-17 13:20

                                
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现在还原工段应该改名叫分解工段。
你的意思是主反应为分解反应，而不是还原反应

不知道你们还原是怎么控制的，你们可以测下尾气回收的HCl及回收料的组分，看看副产的HCl和DCS是多少，应该能大概推断出还原炉内的反应情况。