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树脂吸附三氯氢硅中磷硼的问题

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 楼主| 发表于 2012-11-16 11:26:49 | 显示全部楼层

ily2009 发表于 2012-11-16 10:57

                                
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5PPB??难哦,说的好听,可能刚开始能达到,能持续稳定吗?

一年一再生
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发表于 2012-11-15 21:39:00 | 显示全部楼层

专业多晶硅 发表于 2012-11-16 15:38

                                
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非常感谢啊

not at all
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发表于 2012-11-16 15:38:18 | 显示全部楼层
建议不用树脂吸附 考虑其他方法 树脂吸附容易初次使用的时候 很危险 一般需要做很多准备工作 要不起火就不好办了
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发表于 2012-11-16 11:26:00 | 显示全部楼层
最近,我也在关注这方面的问题!
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发表于 2012-11-16 15:39:46 | 显示全部楼层
曾经做过超纯水除硼,到0.3ppb左右。13楼的说树脂很容易起火,怎么说?
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发表于 2012-11-16 10:57:00 | 显示全部楼层
西安晓蓝科技,做树脂除硼的,可以关注下
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发表于 2012-11-16 16:07:41 | 显示全部楼层
我们这边精馏已经可以满足
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发表于 2012-11-16 15:38:00 | 显示全部楼层
吸附除硼,如果应用成功了,提纯系统能耗及设备投资将会降低很多。
其可能存在的不利因素有:
1、使用范围应该主要在杂质含量较低的精馏工段,粗馏系统杂质含量太高,容易饱和。
2、吸附效率越高,脱附越困难,更换成本太高。
3、吸附剂可能会引入新的杂质。
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发表于 2012-11-18 15:31:03 | 显示全部楼层
再生需要返回厂家的,成本费用比较高
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发表于 2012-11-20 09:28:50 | 显示全部楼层
保证产品中的B在5以下,其他杂质绝对符合生产要求 可以私下联系
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