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多晶硅发黄,出现夹层的原因(附图),请前辈指点

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发表于 2011-5-31 10:28:21 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅发黄,出现夹层的原因(附图),请前辈指点。(1)发黄是什么原因造成的?这对发黄的硅棒是在内圈,喷嘴附近。(2)出现外面灰色壳层,内部黄色,玉米粒形状,如图,请前辈指点。
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发表于 2011-5-31 14:54:45 | 显示全部楼层
炉内反应温度不够高造成的,要尽量保证操作温度。出现黄色,是由于氮化物沉积造成的。
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 楼主| 发表于 2011-5-31 16:39:44 | 显示全部楼层
回复 2# rhk2009 为什么是发生在内圈靠近喷嘴的地方?
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发表于 2011-5-31 16:53:57 | 显示全部楼层
不知道炉子的具体控制过程,不好分析
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发表于 2011-6-1 15:05:58 | 显示全部楼层
初步估计,操作失误,进入了其它物料,如氮气
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发表于 2011-6-1 18:47:04 | 显示全部楼层
生产中进了氮气吧 ··
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发表于 2011-6-6 11:37:38 | 显示全部楼层
查一下操作记录,还原炉压变化,应该能找出原因
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发表于 2011-6-13 16:34:54 | 显示全部楼层
石墨夹头烧了吧????
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发表于 2011-6-13 18:36:21 | 显示全部楼层
不会是传说中的硅王吧,,以前有过这样的问题,你找找看吧。。原因很多了。。
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发表于 2011-6-13 20:10:34 | 显示全部楼层
这种情况一般是由于温度过高或者是由于进入了液体料造成的!至于你的出现黄色应该是有氮气混进了炉子造成了!如果是温度过造成的,一般出现在内圈!当然如果你的整体温度都高全部都出现也是正常的!如果是液体料混入造成的爆米花样那么只出现在内圈也是正常的!因为液体料不会被吹到外圈的硅棒上!
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