多晶硅生产中如何选择石墨制设备

南希 发表于 2009-9-20 17:12

                                
登录/注册后可看大图
你说的是多晶硅硅芯下面的石墨夹瓣吗？国产的我认为足够使用，但是一定要根据自己的还原炉设计，不是通用的 ...
请问石墨夹瓣对硅芯击穿的影响大吗？能具体谈谈吗？对这个不太懂，请赐教。。。谢谢