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国内多晶硅装置的主要生产工艺

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发表于 2012-4-13 19:35:50 | 显示全部楼层 |阅读模式
请各位多晶硅行业的朋友们交流一下:目前,国内建设的多晶硅装置主要生产工艺有哪些?
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发表于 2012-4-14 18:12:02 | 显示全部楼层
我们这MSA GT 设备各一套,都是改良西门子法
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发表于 2012-4-15 22:44:56 | 显示全部楼层
改良西门子法、俄罗斯工艺也有采用,729厂的人有一些自己的工艺
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 楼主| 发表于 2012-4-17 21:52:15 | 显示全部楼层

Richardsunhw 发表于 2012-4-15 22:44

                                
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改良西门子法、俄罗斯工艺也有采用,729厂的人有一些自己的工艺

各位专家:改良西门子法与俄罗斯工艺相比,二者有何区别?
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发表于 2012-4-15 22:44:00 | 显示全部楼层
现在流行的不是冷氢化工艺么
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发表于 2012-4-18 08:27:39 | 显示全部楼层
热氢化和冷氢化都有
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发表于 2013-10-18 09:12:46 | 显示全部楼层
热氢化代表死路一条
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发表于 2013-11-4 00:15:17 | 显示全部楼层
基本上都是改良西门子法!热氢化的能耗高,成本高!现在降低成本的代表工艺就是冷氢化!
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