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多晶硅生产中生成硅粉的粒度一般是多少

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发表于 2013-11-16 10:19:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
,各位坛友,有没有人知道生产多晶硅过程中,如果温度过高生成大量硅粉,那么这个硅粉的粒度,大小尺寸有人知道吗?
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发表于 2013-11-16 10:38:04 | 显示全部楼层
2 - 7微米,大多为5微米!
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发表于 2013-11-16 12:56:55 | 显示全部楼层
呵呵,甚至更细。一般没有人收集下来
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 楼主| 发表于 2013-11-20 10:05:35 | 显示全部楼层

liuqiang2100 发表于 2013-11-16 10:38

                                
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2 - 7微米,大多为5微米!

这么大吗?那如果我想把这些硅粉过滤掉,不想带入下一个工序,在尾气管线加过滤器,那么这个过滤器的精度选2微米就能把所有的硅粉都过滤掉吗?这样会不会堵塞过滤造成还原炉超压
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 楼主| 发表于 2013-11-16 10:38:00 | 显示全部楼层

gysmlhd 发表于 2013-11-16 12:56

                                
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呵呵,甚至更细。一般没有人收集下来

更细,有人研究过这个硅粉到底有多小嘛?我想用过滤器把这些硅粉过滤掉,应该选多大的过滤器呢
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发表于 2013-11-22 14:53:00 | 显示全部楼层

陶崇花 发表于 2013-11-20 10:05

                                
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这么大吗?那如果我想把这些硅粉过滤掉,不想带入下一个工序,在尾气管线加过滤器,那么这个过滤器的精度 ...

你相信我一次,有权威机构检测数据!
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发表于 2013-11-20 10:06:44 | 显示全部楼层
我也正在求此数据,数据不准,过滤器选不了啊。请检测过的企业给个权威数据。
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发表于 2013-11-16 12:56:00 | 显示全部楼层
这样做的意义除了过滤掉硅粉还有没有其他意义呢??新人求解
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发表于 2013-11-22 14:53:52 | 显示全部楼层
还原炉产生的硅粉,的确用筛子定量的测定
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发表于 2013-11-20 10:05:00 | 显示全部楼层
曾经要研究机构带样品回去检测过的??
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