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还原炉内长粉问题求解

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发表于 2011-8-29 09:17:41 | 显示全部楼层
有类似问题,等答案。。。高手快来
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发表于 2011-8-30 17:06:39 | 显示全部楼层
生长时候环境温度过高,配比过大
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 楼主| 发表于 2011-9-1 02:16:48 | 显示全部楼层
请问楼上的师傅,何解?
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发表于 2011-9-1 08:09:02 | 显示全部楼层
如果是二氧化硅应该有氧才能生成,四氟分解应该在300多度,无定形硅粉的可能性较大,或者是混合物。
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发表于 2011-9-1 20:49:49 | 显示全部楼层
那白色粉末有多少呢
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发表于 2011-9-1 22:12:45 | 显示全部楼层
炉子内没有氧气参与怎么可能有二氧化硅生成啊!!
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发表于 2011-9-1 23:06:40 | 显示全部楼层
本人认为是二氧化硅,还原炉底盘有渗水的可能,不易检查。恭候楼主最后结论!
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 楼主| 发表于 2011-9-4 10:17:07 | 显示全部楼层
回12楼,配比高是指氢气还是tcs过高?如果温度过高,或者氢气量小,生成的硅粉会比较多,那应该是黑色的,再不然硅棒表面也会有更深的颜色,不可能是白色的物体。我一直认为漏水是有,但还是解释不清楚为何同样的炉子也没检修过哪里,怎么就前后两炉都没有这种情况呢?求解。
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 楼主| 发表于 2011-9-4 10:19:20 | 显示全部楼层
如10楼所述我也说明了并未查到漏水。
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发表于 2011-9-4 11:47:59 | 显示全部楼层
我们还原炉视镜上有那白色的 粉状物。不像是硅油,很费解求高手指点。。
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