石英坩埚上的氮化硅涂层在烘烤后为什么会起泡？

发表于 2011-1-30 11:27:05

烘烤出来时有起泡现象，这个有没有大侠知道一般是什么原因造成的啊？谢谢啊！

发表于 2011-1-30 14:07:05

研讨过坩埚涂层，真不知道，一些事情只有生产一线才知道。可能是涂层配方问题1

发表于 2011-1-30 17:11:31

配方不就是氮化硅和纯水吗？配比一般都是1：4啦

发表于 2011-1-30 17:20:03

SI3N4涂层有没有人测过厚度的？多少厚度比较好呢？

发表于 2011-1-31 14:06:57

顶g gh sfsfsfsdfsdfsfffsffsdddddddddddddddddddddddddddddd

发表于 2013-12-27 11:32:43

氮化硅分解？氮化硅水解？

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