硅料蚀刻用不用特殊的表面活性剂？？

发表于 2013-12-24 16:38:33

本帖最后由 chenqi111 于 2013-12-24 16:50 编辑
我看到有的国外专利，使用氟表面活性剂。我们这里也开发这样的产品所以过来咨询一下。
氟表面活性剂在硅料蚀刻中是否有一定的应用的可能性。
测试了一下 0.001%的质量浓度，表面张力是28左右。未加活性剂的酸洗液张力在90多

发表于 2013-12-26 11:09:14

硅片清洗跟刻蚀的过程都应该有表面活性剂加入的......

发表于 2013-12-28 20:32:38

Minos 发表于 2013-12-26 11:09

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硅片清洗跟刻蚀的过程都应该有表面活性剂加入的......
有没有用氟表面活性剂的

发表于 2013-12-26 11:09:00

chenqi111 发表于 2013-12-28 20:32

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有没有用氟表面活性剂的
至于是哪一类的，没有了解过..........

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