三氯氢硅合成质量波动影响因素探讨

发表于 2012-3-7 15:38:48

三氯氢硅合成质量波动影响因素探讨：⑴反应温度的影响⑵氧和水分的影响⑶游离氯的控制的影响⑷硅粉粒度和杂质含量的影响，请问还有哪些会对其内在质量影响比较大呢？谢谢

发表于 2012-3-8 17:01:23

你所说的是影响合成液三氯氢硅含量的因素吧
首先把HCL含水要降低，存在游离氯肯定是合成HCL
主要看硅粉（各个厂家不一样）和反应温度
别的内在的不是很明白，求解！

发表于 2012-3-9 09:10:19

对于三氯氢硅合成工艺来讲，影响的主要因素还在于系统的稳定和生产过程的控制变化，一味保持一定的控制指标会对内在质量产生不可逆的影响。

发表于 2012-3-9 22:23:32

看着你这个题目我咋就感觉这么熟？除了你说的那些，HCL相对通量，合成炉降温水管，合成炉分布板等都有关系！

发表于 2014-2-10 14:50:20

我就想知道合成硅粉的B含量对精馏后的三氯氢硅的B含量影响有多大。。。。。。。

发表于 2014-2-10 16:42:55

mayingli 发表于 2014-2-10 14:50

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我就想知道合成硅粉的B含量对精馏后的三氯氢硅的B含量影响有多大。。。。。。。
首先，合成硅粉中B的含量，作为精馏的TCS中B含量的直接来源，影响是比较大的
其次，要看你精馏塔及精馏条件了，增大塔顶低沸物排放量可以有效减小B含量

发表于 2014-2-10 14:50:00

可以考虑适当通入H2进炉，炉内的沸腾和温度把控是关键。

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