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多晶硅直径最大可以生长到多少

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发表于 2012-4-11 15:25:32 | 显示全部楼层 |阅读模式
现在多晶硅的直径一般做到130-150mm,再大一点不是更好吗,表面积大了,沉积的量更多了,究竟有什么优缺点,大家讨论一下
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发表于 2012-4-11 22:49:01 | 显示全部楼层
限制的因素太多了,比如底盘、电极设计承受能力要支撑更大的硅棒(同时要考虑大棒倒棒),停车拆卸难度加大危险增多,更大的硅棒变压器等电器控制系统负荷要加大,进料的加大、发热量的加大带来冷却量加大、尾气温度升高对设备管道的冲击越大,等等,会带来很多问题,都要综合考虑。不可能越大越好,真是这样的话,做棒径一米的不就更好了。实则不然。
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发表于 2012-4-12 07:52:46 | 显示全部楼层
这个就要看炉子的大小,长得太大,时间长,综合消耗高,同时经济效应不高,
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 楼主| 发表于 2012-4-12 09:47:50 | 显示全部楼层

kzqj2000000 发表于 2012-4-11 22:49

                                
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限制的因素太多了,比如底盘、电极设计承受能力要支撑更大的硅棒(同时要考虑大棒倒棒),停车拆卸难度加大 ...

为什么尾气温度会升高呢?我觉得还原炉内的反应温度不会变啊,尾气温度也不应该改变,请指教
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发表于 2012-4-11 22:49:00 | 显示全部楼层
这里涉及一个最优的情况,因为还原炉就那么大,硅芯间的距离是一定的,所以硅棒不可能长得很近,加上装炉有一定的偏差,或者偏生长,长得太近很容易倒炉,免洗料的价格要比倒地硅要贵的。
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发表于 2012-4-12 12:44:35 | 显示全部楼层

dclpl 发表于 2012-4-12 09:47

                                
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为什么尾气温度会升高呢?我觉得还原炉内的反应温度不会变啊,尾气温度也不应该改变,请指教

硅棒越大发热量越大,进料量越大带出的热能就越大,故要维持尾气温度必须增加冷却水冷却量,当冷却水冷却能力达到一定的限度时,尾气温度自然要升高,目前而言,尾气冷却后进入主管廊的温度不应该高于350度,温度越高越危险。
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发表于 2012-4-12 17:18:05 | 显示全部楼层
最大可到170左右。直径越大,菜花料比例越大,但是越省电。
出炉麻烦,底盘承重也有一定范围。
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发表于 2012-4-12 09:47:00 | 显示全部楼层
据说如果反应器设计合理的话,理论最大直径可达200mm。再大的话,硅棒中心温度会过高从而导致熔芯倒棒
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发表于 2012-4-13 16:27:33 | 显示全部楼层

dclpl 发表于 2012-4-12 09:47

                                
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为什么尾气温度会升高呢?我觉得还原炉内的反应温度不会变啊,尾气温度也不应该改变,请指教

假设硅棒表面的温度不变,随着硅棒直径增大,硅棒的辐射热量增加,再者硅棒之间的相互辐射增加,还原炉内的物料气相温度就会增加,尾气温度就逐渐升高。
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