关于氧化夹层问题

本帖最后由 xingxing916 于 2011-12-7 12:40 编辑
在生产当中怎样消除氧化夹层？

是什么设备，走什么介质等，能不能具体说清楚点？

还原炉生产多晶硅的过程

还原炉生产多晶硅的过程
回味三国liu 发表于 2011-12-2 18:08

                                
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你是想问雾化现象呢？还是想问氧化层的问题呢？主题内容有冲突啊。

咨询一下楼主：硅棒长不定性硅的原因？就是硅棒生长期间产生时，继续生产会产生夹层。硅棒生长后期产生时，停炉硅棒表面会有一层绒毛状东西，像蚂蚁上树，底盘有黄色绒毛状。拜谢！！！

回复 5# 一线员工
    你说的应该是无定形硅的形成吧，一般都是有两个原因造成的
1.三氯氢硅进料量突然增大，可能由于汽化器压力不稳定造成的，进入炉次的三氯氢硅量多，导致局部氢气分压不足，发生热裂解，附着在硅棒上得粉末状物质，就是无定形硅
2.停炉是由于急停炉，导致炉内的三氯氢硅未完全发生还原反应，发生自身热裂解，形成无定形硅 附着在硅棒或者炉台上，这就是你说的像蚂蚁上树一样的东西吧。

回复 5# 一线员工
最好传点图片上来，大家看看

楼主问的是氧化夹层还是温度夹层？
1如果是氧化夹层那一般出现在开炉初期，由于氮气带水形成的。
2如果是硅芯（硅棒）表面带彩，我认为是因为高温环境下硅表面被氮气氮化产生。
3如果是生长过程中产生的温度夹层，主要是由于炉温，炉压，进料流量，电流等影响。
如果是1，那从源头氮气含水量上去想办法
如果是2，尽量减少开炉击穿后氮气置换的时间
如果是3，修改你们的工艺参数

问题补充，我干这几年生产管理，感觉还原炉质量出现问题，很大一部分都是因为操作责任心的问题，加强洗脑吧

1、加强启炉前系统置换
2、加强硅芯装炉前清洗及存储，避免硅芯污染
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