多晶硅之硅烷工艺

发表于 2014-9-10 11:16:46

各位同仁，今天小弟发个贴，讨论下多晶硅中硅烷新工艺，欢迎各位大神多发表评论与见解，我先抛个砖：
1、硅烷与氢气的配比是多少？SH4：H2

发表于 2014-9-10 17:12:00

那我就在砖上找个砂子：
SH4是一种什么物质，我所知道的硫只能形成硫化氢，是一个硫原子和两个氢原子，这一个硫原子和四个氢原子组成什么？

发表于 2014-9-10 12:55:43

？SH4：H2=sih4；h2
、、、、？？？

发表于 2014-9-10 15:44:20

qugd 发表于 2014-9-10 12:55

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那我就在砖上找个砂子：
SH4是一种什么物质，我所知道的硫只能形成硫化氢，是一个硫原子和两个氢原子，这 ...
呵呵不好意思打错字了是硅烷 SIH4

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