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在三氯氢硅生产中氯化氢的纯度为什么控制在94%以下

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发表于 2014-8-10 16:32:34 | 显示全部楼层 |阅读模式
在三氯氢硅生产中氯化氢的纯度为什么控制在94%以下
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发表于 2014-8-12 10:41:31 | 显示全部楼层
当氯化氢纯度过高时可能导致过氯,导致安全环保事故的发生,在生产氯化氢时HCl纯度不能太高了,一切在安全的前提下控制好HCl纯度。
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发表于 2014-9-11 12:04:25 | 显示全部楼层
1、防止过氯,2、三氯氢硅合成炉温度比较好控制
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发表于 2014-9-28 17:06:30 | 显示全部楼层
这个学习了
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发表于 2014-10-1 15:24:59 | 显示全部楼层
过氢首先是保证安全,再者过氢对合成反应及床层分布都有好处。
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