四氯化硅氯氢化

工业级硅粉送至硅粉干燥器，干燥后排入硅粉中间仓。混有一定比例硅粉的催化剂送入催化剂活化炉，活化合格后排入硅粉中间仓。催化剂和硅粉在硅粉中间仓中进行混合，计量后由氢气带入流化床反应器中。
外购储槽中的四氯化硅先进入氢化车间四氯化硅缓存罐，经隔膜计量泵过加压、换热器预热后送至四氯化硅电加热汽化器，汽化后的四氯化硅气体经过电加热器进一步加热后送至流化床反应器中。
由电解制氢车间送入的补充氢气和氯氢化系统循环氢气经各自的压缩机加压后混合，按一定比例经过预热器、电加热器加热后送至流化床反应器中。经多晶硅还原尾气变压吸附分离工段分离出的氯化氢气体经压缩机加压和加热器加热后送至流化床反应器中。
在流化床反应器中，控制450-500℃的温度和15-20Kg的压力，硅粉与四氯化硅、氢气、氯化氢进行气固流态化反应进行反应转化为三氯氢硅，一次性有效转化率在25%以上，每生产1Kg三氯氢硅耗电约0.8～1.0KWh。主要反应方程式为：
3SiCl4 +2H2 +Si＝4SiHCl3-Q
Si+3HCl＝SiHCl3+H2+Q
反应后含有氯硅烷、氢气等的气体经过三级旋风除尘、湿法除尘系统，以彻底除去反应气体中夹带的细微硅粉颗粒，且反应气体得到了降温。
除尘后的反应气体经过冷凝器冷凝回收，冷凝液做为多晶硅生产原料送入精馏提纯工序，得到三氯氢硅SiHCl3、四氯化硅SiCl4和低沸物。三氯氢硅SiHCl3送SiHCl3精馏； SiCl4返回氢化系统继续氢化生成三氯氢硅；低沸物及连续粗馏后的残液回收综合利用。不凝气体（氢气）返回氢化系统，经循环氢气压缩机增压后循环使用。生产工艺流程图如下：

哥们，流程图呢？

回复 1# zhangweicheng
哥们，能把流程图发给我吗，只要氢气部分，如何循环，如何补氢？十分感谢。我的邮箱是9026939@qq.com

不错，好东西，不过缺了图，呵呵

本帖最后由 恶贯满盈 于 2014-12-11 14:26 编辑
回复 1# zhangweicheng
四氯化硅气体和氢气气体不混合直接进流化床反应器。会不会出现配比方面的问题？

本帖最后由 恶贯满盈 于 2014-12-11 14:26 编辑
v四氯化硅气体和氢气气体混合后进流化床反应器。

湿法除尘系统较为详细的流程怎样？？？？这才是关键的吧。

zhouqm 发表于 2010-10-27 09:46

                                
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湿法除尘系统较为详细的流程怎样？？？？这才是关键的吧。
图没有？？？？？？？

要图的，看来都不是搞冷氢化的。呵呵。

氯氢化技术一份正常的操作规程 我们应该关心哪些问题求指教