关于硅芯、硅棒接触面发彩发黄的问题（附图）

发表于 2009-11-3 20:44:51

9# 就是平常心 硅芯是在我岗位洗过的！

发表于 2009-11-4 08:51:58

表面氮化和氧化夹层有什么区别？请教各位。

发表于 2009-11-4 09:26:18

生成的无定形硅会造成脱芯等现象，黄色是杂质较多

发表于 2009-11-4 09:53:31

5# zhufeng2
起炉温度低是什么意思啊？那个温度夹层是无定形硅吗？

发表于 2009-11-5 16:37:35

跟硅芯有什么关系，装炉时是要确认硅芯是否清洗的，表面光亮，无杂质的。主要原因使用的启炉方式是什么，是高压还是辐射启炉的。

发表于 2009-11-12 11:20:12

硅芯严重氧化。你那是废品，卖不掉！检查露点

发表于 2009-11-13 16:38:22

是氧化了，表面是一层薄的氧化层。用混合酸就能洗掉的。

发表于 2009-11-15 19:53:26

16# ltj5678
呵呵，卖是能卖掉的，便宜点不就有人买了。

发表于 2009-12-1 23:01:05

怎么这么多答案我看人家其实是一炉料一根硅棒上的图片

发表于 2009-12-2 22:57:52

第一张是酸腐蚀残留物清洗不彻底第二张第三张是一样的系统存在大量氯硅烷无法置换升温过程造成的

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